白光干涉測厚儀主要有主機(jī)和探頭兩部分組成。主機(jī)電路包括發(fā)射電路、接收電路、計(jì)數(shù)顯示電路三部分,由發(fā)射電路產(chǎn)生的高壓沖擊波激勵(lì)探頭,產(chǎn)生超聲發(fā)射脈沖波,脈沖波經(jīng)介質(zhì)介面反射后被接收電路接收,通過單片機(jī)計(jì)數(shù)處理后,經(jīng)液晶顯示器顯示厚度數(shù)值,它主要根據(jù)聲波在試樣中的傳播速度乘以通過試樣的時(shí)間的一半而得到試樣的厚度。
白光干涉測厚儀的功能:
●采用了磁性測厚方法,可測量磁性金屬基體上非磁性覆蓋層的厚度;
●可采用單點(diǎn)校準(zhǔn)和兩點(diǎn)校準(zhǔn)兩種方法對(duì)儀器進(jìn)行校準(zhǔn);
●可采用基本校準(zhǔn)修正法對(duì)測頭系統(tǒng)誤差進(jìn)行更新修正,保證儀器在測量過程中的準(zhǔn)確性;
●負(fù)數(shù)顯示功能,保證儀器零位點(diǎn)校準(zhǔn)的準(zhǔn)確性,提高測試精度;
●操作過程有蜂鳴聲提示;
●兩種關(guān)機(jī)方式:手動(dòng)關(guān)機(jī)方式和自動(dòng)關(guān)機(jī)方式;
●電池電壓指示:低電壓提示;
●微功耗設(shè)計(jì),在待機(jī)裝態(tài)不到10微安的電流。
影響白光干涉測厚儀的測量精度原因:
(1)覆蓋層厚度大于25μm時(shí),其誤差與覆蓋層厚度近似成正比;
(2)基體金屬的電導(dǎo)率對(duì)測量有影響,它與基體金屬材料成分及熱處理方法有關(guān);
(3)任何一種測厚儀都要求基體金屬有一個(gè)臨界厚度,,只有大于這個(gè)厚度,測量才不會(huì)受基體金屬厚度的影響;
(4)對(duì)試樣測定存在邊緣效應(yīng),,即對(duì)靠近試樣樣邊緣或內(nèi)轉(zhuǎn)角處的測量是不可靠的;
(5)試樣的曲率對(duì)測量有影響,這種影響將隨曲率半徑的減小明顯地增大;
基體金屬和覆蓋層的表面粗糙度影響測量的精度,粗糙度增大,影響增大。